美國OLYMPUS AL120晶圓搬送機由愛儀器儀表網代理,本產品是操作方便,非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查的晶圓搬送機,現在熱賣中,如需購買,可通過ai1718.com的客服熱線聯系我們!
產品簡介:
?AL120晶圓搬送機可對應200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓,可以安全高效搬送薄片晶圓
?非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查
?適應范圍廣、搭配靈活
?高度實用性
?進一步優化的宏觀檢查
?操作便捷
?高度可靠性
?優先考慮晶圓和操作者的安全
?堅固、耐用的顯微鏡底座
?人機工程學設計的載物臺
?電動物鏡轉換器和孔徑光闌相互鎖定,可以優化各物鏡的照明和對比度
?如果特別訂制,AL120還可以應用到其他型號的顯微鏡上
產品特點:
?對應多種尺寸組合
?有200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對應小于150 mm的晶圓)的3種型號
?對應薄片制造廠家的需求,AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓
?宏觀檢查手臂可以360゜旋轉,更為容易發現傷痕和微塵
?利用360゜旋轉功能,完全可以目視檢查整個晶圓(包括邊緣)
?在表面宏觀檢查中,使用操縱桿可隨意將晶圓*大傾斜30゜進行觀察
?為了滿足各種常規檢查的要求,AL120可以登記多達10個檢查程序
?使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度
?快速菜單選擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序
?晶圓搬送機的菜單設置和設置參數都會在新型的LCD顯示器上顯示
?使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應SLOT,便于操作者再次確認
?AL120使用非接觸光學定位、查找和對齊缺口/平面,可以減少晶圓和設備之間的接觸,提高晶圓的清潔度
?為了能夠安全的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設計
?在安全性和人機工學上通過了SEMI S2/S8檢測,同時,在環境保護方面遵守了RoHS指令
?AL120搭載奧林巴斯MX晶圓檢查顯微鏡系列,通過各種觀測方法
?實現了*的圖像分辨率和清晰度
?手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率,標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉功能。
?可通過操縱桿或預編程的程序控制電動載物臺,進一步將檢查過程自動化
?只需一鍵便可驅動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置
產品簡介:
?AL120晶圓搬送機可對應200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓,可以安全高效搬送薄片晶圓
?非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查
?適應范圍廣、搭配靈活
?高度實用性
?進一步優化的宏觀檢查
?操作便捷
?高度可靠性
?優先考慮晶圓和操作者的安全
?堅固、耐用的顯微鏡底座
?人機工程學設計的載物臺
?電動物鏡轉換器和孔徑光闌相互鎖定,可以優化各物鏡的照明和對比度
?如果特別訂制,AL120還可以應用到其他型號的顯微鏡上
產品特點:
?對應多種尺寸組合
?有200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對應小于150 mm的晶圓)的3種型號
?對應薄片制造廠家的需求,AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓
?宏觀檢查手臂可以360゜旋轉,更為容易發現傷痕和微塵
?利用360゜旋轉功能,完全可以目視檢查整個晶圓(包括邊緣)
?在表面宏觀檢查中,使用操縱桿可隨意將晶圓*大傾斜30゜進行觀察
?為了滿足各種常規檢查的要求,AL120可以登記多達10個檢查程序
?使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度
?快速菜單選擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序
?晶圓搬送機的菜單設置和設置參數都會在新型的LCD顯示器上顯示
?使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應SLOT,便于操作者再次確認
?AL120使用非接觸光學定位、查找和對齊缺口/平面,可以減少晶圓和設備之間的接觸,提高晶圓的清潔度
?為了能夠安全的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設計
?在安全性和人機工學上通過了SEMI S2/S8檢測,同時,在環境保護方面遵守了RoHS指令
?AL120搭載奧林巴斯MX晶圓檢查顯微鏡系列,通過各種觀測方法
?實現了*的圖像分辨率和清晰度
?手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率,標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉功能。
?可通過操縱桿或預編程的程序控制電動載物臺,進一步將檢查過程自動化
?只需一鍵便可驅動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置
型號 | 200 mm專用型 | 200 mm/150 mm 兼用型 | 150 mm型 | |||||
AL120- LMB8- 90 | AL120-LMB86- 180 | AL120-L86-180 | AL120- LMB86 | AL120- L86 | AL120-LMB6-50 | AL120- L6-150 | ||
晶圓尺寸(SEMI規格) | 200mm | 200mm / 150mm | 150mm / 125mm / 100mm | |||||
晶圓*小厚度 | 90μm | 180μm | 400μm | 150μm | ||||
片盒類型* | SEMI規格:25(26)個slot | |||||||
片盒數 | 1 | |||||||
檢查模式 | 全部檢查/抽樣檢查 | |||||||
搬運順序 | 微觀檢查(顯微鏡檢查) | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
表面宏觀檢查 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
背面宏觀檢查 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
二次背面宏觀檢查 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
晶圓定位(每 90o) | 非接觸(定位平邊/V型槽) | 非接觸(定位平邊) | ||||||
適配顯微鏡型號 | 奧林巴斯半導體檢查顯微鏡 MX61 | |||||||
尺寸(mm) |
主機部分:640 (W) × 620 (D) × 378 (H) 配備顯微鏡時:1100 (W) × 620 (D) × 378 (H) |
主機部分:570 (W) × 620 (D) × 400 (H) 配備顯微鏡時:980 (W) × 620 (D) × 400 (H) |
||||||
重量(kg)(僅主機部分) | 44 | 44 | 41 | 44 | 41 | 40 | 37 | |
使用環境(電源/真空) | AC100 V~120 V、1 A或AC220 V~240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67~-80 kPa、20 Liter/min以上 |
我們是這樣為您服務的
-
1、技術溝通,初步判斷問題
電話與客戶進行初步溝通、了解并初步判斷儀器
所出現的故障問題。 -
2、簽訂維修協議
由我公司向客戶發送儀器維修協議,客戶需如實
填寫內容并回傳以便我司對儀器做進一步判斷。 -
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客戶可按照我司地址郵寄儀器,并將快遞單拍、
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4、詳細診斷機器故障
我司收到郵寄儀器后會對郵寄的儀器進行拍照、
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如客戶儀器在保修期內,我司不收取任何維修費,
如客戶儀器在保修期外,我司會適當收取維修費。 -
6、郵寄儀器給客戶
我司將維修好的儀器按客戶地址進行拍照并郵寄,自此
雖維修協議終止,但我司將提供終身免費答疑及技術指導。
專業從事儀器儀表檢修9年,部分可提供服務的產品型號如下:
AT2140/AT2140A個人劑量計
POLIMASTER PM1621A個人劑量計輻射檢測報警儀
AT1103M X射線輻射劑量率儀
AT1117M多功能便攜式核輻射檢測儀-授權代理
AT1123環境輻射檢測儀脈沖輻射x,γ劑量測量儀-授權代理
AT1121防護級輻射劑量測量儀-授權代理
Polimaster PM1621個人輻射劑量報警儀
AT3509放射個人輻射劑量監測報警儀
AT2503個人核輻射劑量檢測報警儀
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DEMRON輻射屏蔽防護服
MVCT繼電器和CT/VT測試儀
MTO330直流電阻測試儀
DLRO600數字式微歐表
AT1320γ活度計-測水/食品/土壤等
OTS60PB/OTS80PB便攜式絕緣油測試儀
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AT3509C個人輻射劑量計
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